真空泵的離子檢漏技術(shù)概述
點(diǎn)擊次數(shù)：1991 更新時(shí)間：2020-07-22
真空泵正常工作中，嚴(yán)禁*關(guān)閉進(jìn)、排氣口閥門，應(yīng)注意定期觀察壓力情況，超負(fù)荷時(shí)安全閥是否動作排氣，否則應(yīng)及時(shí)調(diào)整安全閥，不準(zhǔn)超負(fù)荷運(yùn)行。對真空泵要做它的定期檢測工作。離子檢漏法與電離真空計(jì)檢漏法類似，是利用示漏氣體進(jìn)入真空泵時(shí)，泵電流將發(fā)生變化的特性進(jìn)行工作的，根據(jù)這種變化，可檢測出真空系統(tǒng)的漏孔，并可估算漏孔的大小。
在使用帶有真空泵的抽氣系統(tǒng)，或把被檢件接到真空泵抽氣系統(tǒng)上去時(shí)，人們可以在任何時(shí)間、在壓力低于10-2 Pa的條件下，對系統(tǒng)或被檢件進(jìn)行檢漏。這種檢漏方法無須額外儀器，既靈敏又簡便。其示漏氣體可選用氧、氬、氫等。
首先將真空泵抽空，抽到較低壓力后關(guān)閉閥門，使泵保持在較低壓力下工作。接入被檢件，用前置泵排氣，當(dāng)真空度達(dá)到1-10-1 Pa時(shí)，關(guān)閉一閥門并打開另一閥門，用真空泵抽氣。
當(dāng)達(dá)到平衡壓力后，用示漏氣體(如Ar)噴吹可疑有漏孔處，如噴吹到漏孔處時(shí)，示漏氣體就會進(jìn)入系統(tǒng)，使真空泵的放電電流指示迅速上升，這是因?yàn)楸脤鍤獬樗佥^低的緣故。
當(dāng)用氫或氧來檢漏時(shí)，將會引起泵電流的下降，因?yàn)檎婵毡脤@些氣體的抽速比對空氣的抽速大。
這種方法的靈敏度為10-4～10-9Pa·m3·S-1。根據(jù)漏孔的大小，可以調(diào)節(jié)閥門開啟程度實(shí)現(xiàn)其檢漏效能。檢漏時(shí)須注意其靈敏度與壓力成反比，因此應(yīng)盡量在較低的平衡壓力下進(jìn)行檢漏;示漏氣體經(jīng)過凈化處理。
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